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open偏移量校正-"3、在创建好模板之后,将satge,分别在移动X、Y、XY轴三种情况下执行位置校正,确认测量出来的值和移动值之间的误差值是否对上。 (如stage的X移动0.5mm执行拍照计算出来的XOffset和0.5mm之间的误差值应该小于1um)"
Status:
New
Priority:
Normal
Assignee:
-
Start date:
09/16/2022
Due date:
% Done:
0%
Estimated time:
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