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Feature #15
closedFeature #11: 晶圆角度校正界面:光源和镜头参数设置框之后添加设置按钮；因为当前的设备参数和recipe参数不一致，设置之后更改硬件的参数。
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Start date:
08/10/2022
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Feature #11: 晶圆角度校正界面:光源和镜头参数设置框之后添加设置按钮；因为当前的设备参数和recipe参数不一致，设置之后更改硬件的参数。
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