Project

General

Profile

Actions

Issues

Filters

Apply Clear

# Tracker Status Priority Subject Assignee Updated
241 Support New Normal discuz 数据库配置方法 10/25/2024 08:45 AM Actions
104 Support New Normal 偏移量校正-4、测试在模板已经编辑好的情况下,不同的物镜高度(图像模糊和在焦点上)对于测量出来的偏移值值影响,统计最大差值 09/16/2022 04:00 PM Actions
103 Support New Normal 偏移量校正-"3、在创建好模板之后,将satge,分别在移动X、Y、XY轴三种情况下执行位置校正,确认测量出来的值和移动值之间的误差值是否对上。 (如stage的X移动0.5mm执行拍照计算出来的XOffset和0.5mm之间的误差值应该小于1um)" 09/16/2022 04:00 PM Actions
102 Support New Normal 偏移量校正-2、测试计算出的XY偏移量,和stage的XY是否对应,且方向一致 09/16/2022 03:59 PM Actions
101 Support New Normal 偏移量校正-1、测试设置 好参数之后,执行Run函数是否能够准确计算出XY偏移量(计算出来的是像素单位,要根据标定文件转换成mm) 09/16/2022 03:58 PM Actions
99 Support New Normal 晶圆角度校正 - 7、测试模板算法的掩膜功能(有必要可以将算法工具进行保存) 09/16/2022 03:50 PM Actions
98 Support New Normal 晶圆角度校正 - 5、测试在模板已经编辑好的情况下,不同的物镜高度(图像模糊和在焦点上)对于测量出来的角度值影响,统计最大差值 09/16/2022 03:49 PM Actions
97 Support New Normal 晶圆角度校正-4、测试选择wafer上不同的点,如表格Aligment所示的测量点。如数据差异大软件逻辑层想办法规避用户操作差异 09/16/2022 03:48 PM Actions
96 Support New Normal 晶圆角度校正 - 3、将stage移动到任意放置,再执行校准,确认每次校准都是否成功,且角度误差值小于0.1度 09/16/2022 03:48 PM Actions
4 Support New Normal SourceTree+git结合gitee实现代码管理 03/04/2022 10:14 AM Actions
3 Support New Normal wafer使用手册答疑 03/03/2022 11:57 AM Actions
    (1-11/11)

    Also available in: Atom CSV PDF